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SmartNIL® Prozess und Großserien-Produktionsanlage für die Nanopräge-Lithographie

EV Group GmbH (EVG), St. Florian am Inn

Großflächig und dennoch präzise ist das Strukturieren von Substraten für unterschiedlichste Bauelemente dank einer schnellen und kosteneffizienten Technologie

Die Funktionsweise elektronischer, mikromechanischer oder optischer Bauelemente und Produkte basiert häufig auf feinsten, auf ihren Ausgangsmaterialien bzw. Substraten aufgebrachten Strukturen. Aktuelle Herstellungsverfahren dafür sind oft aufwändig oder erreichen nicht die erforderliche Präzision, besonders bei der Produktion im großen Maßstab. Hier kann die Methode der Nanopräge-Lithographie Kosten sparen. Dabei werden die feinen Strukturen von einem Stempel auf ein Polymermaterial übertragen. Dank der hierzu entwickelten Technologie „SmartNIL®“ der oberösterreichischen Firma EVG kann selbst bei mikroskopisch kleinen Elementen ein gleichmäßiger Kontakt zwischen dem Substrat und dem – sogar wiederverwendbaren – Prägestempel erreicht werden. Einsatzgebiete sind neben Anwendungen im Optik- und Halbleiterbereich die Medizintechnik, die DNA-Analyse, aber auch Untersuchungen der Wasserqualität.